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    ウェハーBump3次元トポグラフィー測定
    製品説明：
    ウェハー3次元再構成、オンラインフルサイズ測定。
    製品メリット：
    非接触高速スキャン、チップBumpの高さと幅、ピッチ、コプラナリティを測定することができる。
    コプラナリティ